意想不到:台积电的设备中有中企蚀刻设备,可惜正在被移除

58 2025-08-27 10:43

内容提要:

台积电生产线上居然非常意外地使用了中资收购的美企Mattson蚀刻设备。但因美国《芯片装备法案》禁止使用中国大陆设备的企业进入美国市场,台积电正逐步移除相关设备。此举旨在避免失去欧美客户,且不影响其N2节点量产进度。台积电强调芯片无后门,移除动作属合规调整。国企境外收购需谨慎评估风险。

一、一般人想不到,顶级芯片制造商台积电的生产线中,居然有中企设备。

台积电是全球毫无异议的芯片制造Number one,在几乎所有的非专业人士的认知中,中国的芯片制造能力肯定是远远落后于台积电的,中国的芯片制造设备肯定是难以匹配台积电一骑绝尘的先进芯片制造工艺的。

但令人意外的是,这家总部位于中国台湾,在美国、日本、欧洲都部署有芯片制造厂的全球顶尖芯片制造公司的先进芯片制造流水线上,居然在其制造过程的某些部分使用了中国大陆企业的一些机器——或者至少是在28nm以下的一些非先进制程的芯片制造中,使用了中国大陆企业的一些机器。比如,使用了中国企业马特森科技的蚀刻工具。这些工具用于在半导体的制造过程中蚀刻晶片。

谈到马特森,就需要先介绍北京屹唐半导体科技有限公司。这是一家注册在北京经济技术开发区的半导体设备企业,2016年5月,亦庄国投通过屹唐半导体科技,以约3亿美元的总价,成功收购了总部在硅谷的半导体设备公司Mattson Technology。这是中国资本成功收购国际半导体设备公司的第一个案例。

而这家Mattson Technology,Inc. ,是一家设计、制造、营销和全球支持用于制造集成电路的半导体晶圆加工设备的公司。

Mattson是全球半导体行业等离子体和快速热处理设备的主要供应商。其设备和技术被全球领先的存储器、代工和逻辑器件制造商使用。Mattson在原子表面工程领域的新创新解决最关键的3D 逻辑和存储器制造挑战。

该公司的全球总部位于加利福尼亚州弗里蒙特,在美国和德国设有设计中心,在美国和德国设有制造工厂。其销售和支持团队位于法国、德国、日本、韩国、新加坡、台湾和美国。

也就是说,这是一家被中国国企收购的美国国际半导体设备公司。

二、美国《芯片装备法案》,禁止其企业与使用中国大陆设备的芯片制造商开展业务往来,因此台积电准备撤除马特森蚀刻设备。

8 月 26 日,半导体专业媒体《EXTREMETECH》在标题为“TSMC Skips Chinese Equipment for New Chip Production”的科技新闻中披露,台积电正在努力确保其工厂在其 N2 晶圆厂中不使用来自中国大陆企业的设备。

推动这一目标的可能是美国一项名为《芯片设备质量、有用性和完整性保护法案》(也称为《芯片 EQUIP 法案》)的法案,该法案似乎针对此类设备。也就是说,美国为防止中国篡改美国技术所做的努力,可能是台积电采取不同寻常举措的罪魁祸首。

该报道称,大陆企业生产的蚀刻设备很可能是被台积电所有工厂必须移除的工具之一,而美国国会通过的法案可能是主要原因。2024 年《芯片装备法案》可能会阻止美国市场与某些使用中国大陆设备的芯片制造商的业务往来。该法案列出了几种类型的设备,包括蚀刻设备,当然,法案中关注的设备还包括专注于晶圆切割和切片的设备、光刻工具和晶圆切片设备等。

鉴于中美之间愈发紧张的关系,以及 AMD 和英伟达等美国客户对台积电的重要性,台积电可能正在重组以从其生产设施中移除中企设备也就不足为奇了。

三、台积电更换马特森蚀刻工具,会影响其芯片交付进度吗?

需要更换芯片复杂制造过程中的敏感设备,会不会减慢向客户的交付速度?台积电透露不会,因为他们的芯片工厂在设备维护周期中可以快速更换这些设备。

也许会有声音质疑,如果台积电不更换这些设备将会如何?如果台积电采取观望态度,这家芯片制造商可能会发现自己处于尴尬境地,并为竞争对手提供机会。因为根据《芯片装备法案》,从明年开始,使用含有中企设备生产的芯片,可能无法在美国市场销售,今后还可能无法在大多数西方国家销售。上周美欧达成的贸易协议中,也包括了类似的条款。

台积电引以为傲的2nm级生产N2节点预计今年会增加,其大规模量产可能会比之前计划的 2026 年提前数月。

随着美国向外国企业施压,要求其将制造转移到美国本土,台积电加大了对亚利桑那州 Fab 21 制造厂的大量投资。该工厂已经在生产台积电的一些老一代芯片,现在正在生产预期最终生产台积电 30% 的 2nm 及以下芯片。

台积电的N2节点开发步入正轨,6月份,这家芯片制造商的 90nm级N2晶圆(用于存储器产品)的良率超过98%。根据Wccftech的一份报告,其美国晶圆厂集群已经看到客户排队一段时间了,由于苹果和其他公司的高需求,其美国晶圆厂集群可能已接近产能。

因此,台积电计划扩建其亚利桑那工厂,以创建所谓的超级晶圆厂集群。

四、传言台积电生产的芯片中含有跟踪后门,纯属无稽之谈。

在《芯片装备法案》在国会通过的同时,有美国议员提出跟踪显卡等硬件的设想,确保敌对国家的军队无法获得世界上最前沿的人工智能技术。最终美国生产的芯片,包括台积电在美国工厂生产的芯片,是否会增加跟踪功能,理论上取决于美国议会的立法进程。

但可以肯定的是,现在就有传言认为台积电的芯片中含有跟踪后门,这肯定是无稽之谈。在没有法律要求的前提下,追求利润的企业怎么可能增加成本去添加无助于增加产品竞争力的跟踪功能呢?

【作者:徐三郎】

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